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フォトリソ工程ワークブック

教材名	フォトリソ工程ワークブック
教材名２

能力開発セミナーカリキュラム

★

訓練分野

電気・電子系

訓練コース名

半導体プロセス実習（フォトリソ工程編）

訓練対象者

半導体製造装置の設計、製造及び半導体デバイスの設計、製造に従事する者

訓練目標	フォトリソ工程の工程、特性、特徴及びフォトリソ用装置の原理、構造、特性を習得する。

教科の細目

内　　容

訓練時間

１．フォトリソ工程の基本

露光、現像の原理、特性
ウエットエッチングとドライエッチングの原理、特性

２．フォトリソ工程用装
置

露光装置の原理、構造、特性
ウエットエッチング装置の原理、構造、特性
ドライエッチング装置の原理、構造、特性
安全教育

３．アルミ膜のパターニング

アルミ膜上の露光、現像実習
アルミ膜上のエッチング特性評価

４．ポリシリ膜のパターニング

（１）ポリシリ膜上の露光、現像実習
（２）ポリシリ膜上のエッチング特性評価

５．シリコン窒化膜のパターニング

（１）シリコン窒化膜上の露光、現像実習
（２）シリコン窒化膜上のエッチング特性評価

合計24

使用する　　　　　
機械器具等

両面露光器、スピナー、ベーク炉、現像装置、エリプソメータ、表面段差計、
エッチング装置、金属顕微鏡

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