カリキュラムモデル
分類番号 E211-009-3
| 訓練分野 | 電気・電子系（E） |
|---|---|
| 訓練コース | 機能性材料・電子素子の分析評価法 |
| 訓練対象者 | 機能性材料や電子素子開発・製造に従事し、今後職場のリーダーの役割を担う者 |
| 訓練目標 | 一般的に使用されている評価法を分類し、新しい素材や素子の開発あるいは特性改善や不良解析に利用するための知識と技術を習得することにより、仕事の上で抱えている問題点の解決を図り、システムの改善や業務の効率化に関する職務の遂行ができる |
| 教科の細目 | 内容 | 訓練時間（H） |
|---|---|---|
| １．評価法の分類 | （１）電気的特性 （２）光学的特性 （３）表面形態の観察と結晶構造の解析 （４）組成と化学構造の分析 |
1 |
| ２．電気的評価法 | （１）電流−電圧（Ｉ−Ｖ）法 （２）容量−電圧（Ｃ−Ｖ）法 （３）抵抗率の測定 （４）ホール測定 |
2 |
| ３．光学的評価法 | （１）エリプソメトリー法 （２）赤外分光法（ＩＲ） （３）光励起法 |
2 |
| ４．その他の物理化学的評価法 | （１）走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ） （２）Ｘ線回折法（ＸＤ） （３）オージェ電子分光法（ＡＥＳ） （４）Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ） （５）二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ） （６）反射高速電子線回折法（ＲＨＥＥＤ） |
3 |
| ５．電気特性の測定 | （１）電子素子の電流ー電圧特性の測定と評価 （２）四探針法による電子材料の抵抗率の測定 |
1.5 |
| ６．薄膜の光学的評価 | （１）エリプソメトリー法による薄膜材料の膜厚と屈折率 の測定 |
1.5 |
| ７．ＳＥＭによる試料観察 | （１）導体，半導体試料の観察 （２）絶縁物の観察と試料の前処理方法 |
3 |
| ８．元素分析 | （１）ＡＥＳによる元素分析 （２）ＸＰＳによる元素分析と化学結合状態の解析 |
3 |
| ９. 確認・評価 | （１）実習の全体的な講評および確認・評価 | 1 |
| 訓練時間合計 | 18 |
| 使用器具等 | Ｉ−Ｖ自動測定システム、エリプソメータ、走査型電子顕微鏡、複合型表面元素分析装置、その他 |
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